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壓力傳感器如何抗沖擊

更新時間:2016-12-28點擊次數(shù):2212

壓力傳感器是工業(yè)實踐中zui為常用的一種傳感器,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業(yè),下面就簡單介紹一些常用傳感器原理及其應(yīng)用。另有醫(yī)用壓力傳感器。

壓力傳感器應(yīng)用在很多壞境中,有些壞境可能比較惡劣,比如壓力傳感器需要用來測量沖擊壓力,測沖擊壓力一般要求壓力傳感器性能比較高,我們通常有下面幾種方法來測量沖擊型壓力。

*種方法就是用普通的陶瓷壓力傳感器或者擴散硅壓力傳感器來測量,但不是直接進行測量,而且在前面加一個緩沖管,這樣也能測量沖擊性壓力。這種方法經(jīng)濟實惠,安裝方便,所以應(yīng)用也是非常廣泛。

第二種方法就是改變壓力變送器芯片,不用普通的陶瓷芯體或者擴散硅芯體,而用應(yīng)變片,電阻應(yīng)變片是一種將被測件上的應(yīng)變變化轉(zhuǎn)換成為一種電信號的敏感器件。它是壓阻式應(yīng)變傳感器的主要組成部分之一。電阻應(yīng)變片應(yīng)用zui多的是金屬電阻應(yīng)變片和半導體應(yīng)變片兩種。金屬電阻應(yīng)變片又有絲狀應(yīng)變片和金屬箔狀應(yīng)變片兩種。通常是將應(yīng)變片通過特殊的粘和劑緊密的粘合在產(chǎn)生力學應(yīng)變基體上,當基體受力發(fā)生應(yīng)力變化時,電阻應(yīng)變片也一起產(chǎn)生形變,使應(yīng)變片的阻值發(fā)生改變,從而使加在電阻上的電壓發(fā)生變化。這種應(yīng)變片在受力時產(chǎn)生的阻值變化通常較小,一般這種應(yīng)變片都組成應(yīng)變電橋,并通過后續(xù)的儀表放大器進行放大,再傳輸給處理電路。應(yīng)變片壓力傳感器一般能抗沖擊,而且抗沖擊比較好,但是這種傳感器精度有帶商確。

不管用什么方法測量沖擊性壓力都是為了保護傳感器芯體不被強大的壓力沖壞。具體使用哪種方法還得依據(jù)現(xiàn)在的壞境和客戶的選擇。

應(yīng)用領(lǐng)域
壓力傳感器主要應(yīng)用于:增壓缸、增壓器、氣液增壓缸、氣液增壓器、壓力機,壓縮機,空調(diào)制冷設(shè)備等領(lǐng)域。
1、應(yīng)用于液壓系統(tǒng)
壓力傳感器在液壓系統(tǒng)中主要是來完成力的閉環(huán)控制。當控制閥芯突然移動時,在極短的時間內(nèi)會形成幾倍于系統(tǒng)工作壓力的尖峰壓力。在典型的行走機械和工業(yè)液壓中,如果設(shè)計時沒有考慮到這樣的工況,任何壓力傳感器很快就會被破壞。需要使用抗沖擊的壓力傳感器,壓力傳感器實現(xiàn)抗沖擊主要有2種方法,一種是換應(yīng)變式芯片,另一種方法是外接盤管,一般在液壓系統(tǒng)中采用*種方法,主要是因為安裝方便。此外還有一個原因是壓力傳感器還要承受來自液壓泵不間斷的壓力脈動。
2.應(yīng)用于安全控制系統(tǒng)
壓力傳感器在安全控制系統(tǒng)中經(jīng)常應(yīng)用,主要針對的領(lǐng)域是空壓機自身的安全管理系統(tǒng)。在安全控制領(lǐng)域有很多傳感器應(yīng)用,壓力傳感器作為一種非常常見的傳感器,在安全控制系統(tǒng)中應(yīng)用也不足為奇。
在安全控制領(lǐng)域應(yīng)用一般從性能方面來考慮,從價格上的考慮,還有從實際操作的安全性方便性來考慮,實際證明選擇壓力傳感器的效果非常好。壓力傳感器利用機械設(shè)備的加工技術(shù)將一些元件以及信號調(diào)節(jié)器等裝置安裝在一塊很小的芯片上面。所以體積小也是它的優(yōu)點之一,除此之外,價格便宜也是它的另一大優(yōu)點。在一定程度上它能夠提高系統(tǒng)測試的準確度。在安全控制系統(tǒng)中,通過在出氣口的管道設(shè)備中安裝壓力傳感器來在一定程度上控制壓縮機帶來的壓力,這算是一定的保護措施,也是非常有效的控制系統(tǒng)。當壓縮機正常啟動后,如果壓力值未達到上限,那么控制器就會打開進氣口通過調(diào)整來使得設(shè)備達到zui大功率。
3.應(yīng)用于注塑模具
壓力傳感器在注塑模具中有著重要的作用。壓力傳感器可被安裝在注塑機的噴嘴、熱流道系統(tǒng)、冷流道系統(tǒng)和模具的模腔內(nèi),它能夠測量出塑料在注模、充模、保壓和冷卻過程中從注塑機的噴嘴到模腔之間某處的塑料壓力。
4.應(yīng)用于監(jiān)測礦山壓力
傳感器技術(shù)作為礦山壓力監(jiān)控的關(guān)鍵性技術(shù)之一。一方面,我們應(yīng)該正確應(yīng)用已有的各種傳感器來為采礦行業(yè)服務(wù);另一方面,作為傳感器廠家還要研制和開發(fā)新型壓力傳感器來適應(yīng)更多的采礦行業(yè)應(yīng)用。壓力傳感器有多種,而基于礦山壓力監(jiān)測的特殊環(huán)境,礦用壓力傳感器主要有:振弦式壓力傳感器、半導體壓阻式壓力傳感器、金屬應(yīng)變片式壓力傳感器、差動變壓器式壓力傳感器等。這些傳感器在礦產(chǎn)行業(yè)都有廣泛的應(yīng)用,具體使用哪種傳感器還有根據(jù)具體的采礦環(huán)境進行選擇。
5.應(yīng)用于促進睡眠
壓力傳感器本身無法促進睡眠,我們只是將壓力傳感器放在床墊地下,由于壓力傳感器具有高靈敏度,當人發(fā)生翻身、心跳以及呼吸等有關(guān)的動作時,傳感器會分析這一系列信息,去推斷睡眠人睡覺處于一個什么狀態(tài),然后通過對傳感器的分析,收集傳感器的信號得到心跳和呼吸節(jié)奏等睡眠的數(shù)據(jù),zui后將所有數(shù)據(jù)處理譜成一首段的曲目,當然能將你一個晚上的睡眠壓縮成一首幾分鐘的音樂。
6.應(yīng)用于壓縮機,空調(diào)冷設(shè)備
壓力傳感器常用于空氣壓力機,以及空調(diào)制冷設(shè)備,這類傳感器產(chǎn)品外形小巧、安裝方便、導壓口一般采用閥針式設(shè)計。


防腐技巧
壓力傳感器被應(yīng)用于各行各業(yè),尤其是工業(yè)上應(yīng)用非常多的壓力傳感器,但是工業(yè)上一般要求壓力傳感器能夠防腐蝕,壓力傳感器接頭和腔體采用進口不銹鋼整體加工,作為壓力變送器彈體的不銹鋼材料耐蝕性高、衰減性能好,可以監(jiān)測任何與316L相兼容的介質(zhì)。下面我們還來介紹一下壓力傳感器的防腐技巧。
首先,了解被測介質(zhì)是否與316L相兼容:316,317L合金在100小時5%鹽霧測試中,都沒有出現(xiàn)腐蝕。其次,在選購傳感器產(chǎn)品時,向供應(yīng)商咨詢介質(zhì)對壓力傳感器是否有影響;通過對彈體耐腐蝕材料的選擇,以便達到用戶使用的需求。zui后,我們可以采用隔離辦法:壓力變送器前有鉬2鈦和鉭片,膜片與彈道管之間用甲基硅油傳送壓力,zui小量程可做到0~100kPa,如果膜片材料還不耐腐,則可加一層F46膜片,但儀表靈敏底有所降低。也可直接用F46作隔離膜片,傳遞液可選用氟油,則可起雙重隔離作用。
壓力傳感器在使用過程中一旦發(fā)現(xiàn)其不能與介質(zhì)兼容就必須馬上更換傳感器,對應(yīng)一些特殊的介質(zhì)我們可以采用特殊的材質(zhì)或者特殊的結(jié)構(gòu)來進行測量,壓力傳感器未來肯定會得到更加廣泛的應(yīng)用,所以作為廠家我們要積極開發(fā)新型壓力傳感器來適應(yīng)需要。


趨勢
1.主要垂直行業(yè),包括石油和天然氣、汽車和醫(yī)療保健的技術(shù)進步導致了多種應(yīng)用程序以及壓力傳感器功能的演變。
2.汽車領(lǐng)域是壓力傳感器的zui重要的用戶之一,汽車生產(chǎn)的激增導致對壓力傳感器和相關(guān)組件的需求不斷增加。
3.機動車安全已成為整個汽車行業(yè)的重要方面,圍繞此項特性的嚴格的政府法規(guī)有助于促進汽車行業(yè)壓力傳感器的需求增長。
4.基于微機電系統(tǒng)(MEMS)和納機電系統(tǒng)(NEMS)的技術(shù)一直以來廣受大眾歡迎,采用量大增,導致壓力傳感器市場的增長。
5.消費電子壓力傳感器使用量大大增加,成為整個市場發(fā)展zui快的應(yīng)用領(lǐng)域。
6.終端使用行業(yè)如汽車和醫(yī)療保健市場趨于成熟成為阻礙北美和歐洲壓力傳感器市場的一大挑戰(zhàn)。
7.在亞洲國家,如中國、日本、印度和韓國快速的工業(yè)化和機動車生產(chǎn)都可以歸結(jié)為亞太壓力傳感器市場的發(fā)展。
8.亞太和中東地區(qū)的智能城市基礎(chǔ)設(shè)施的發(fā)展持有巨大的未來增長潛力。
9.消費者購買壓力傳感器對其安裝和更換不斷飆升的成本心存憂慮,可能會影響壓力傳感器市場。
10.在過去的幾年中,壓力傳感器市場取得了迅速進展,對競爭格局產(chǎn)生了積極影響,為市場引入了新的參與者并擴大了市場現(xiàn)有參與者的范圍。

 

原則
現(xiàn)代傳感器在原理與結(jié)構(gòu)上千差萬別,如何根據(jù)具體的測量目的、測量對象以及測量環(huán)境合理地選用傳感
EPXO壓力傳感器
EPXO壓力傳感器
器,是在進行某個量的測量時首先要解決的問題。當傳感器確定之后,與之相配套的測量方法和測量設(shè)備也就可以確定了。測量結(jié)果的成敗,在很大程度上取決于傳感器的選用是否合理。
1、根據(jù)測量對象與測量環(huán)境確定傳感器的類型
要進行—個具體的測量工作,首先要考慮采用何種原理的傳感器,這需要分析多方面的因素之后才能確定。因為,即使是測量同一物理量,也有多種原理的傳感器可供選用,哪一種原理的傳感器更為合適,則需要根據(jù)被測量的特點和傳感器的使用條件考慮以下一些具體問題:量程的大小;被測位置對傳感器體積的要求;測量方式為接觸式還是非接觸式;信號的引出方法,有線或是非接觸測量;傳感器的來源,國產(chǎn)還是進口,價格能否承受,還是自行研制。
在考慮上述問題之后就能確定選用何種類型的傳感器,然后再考慮傳感器的具體性能指標。
2、靈敏度的選擇
通常,在傳感器的線性范圍內(nèi),希望傳感器的靈敏度越高越好。因為只有靈敏度高時,與被測量變化對應(yīng)的輸出信號的值才比較大,有利于信號處理。但要注意的是,傳感器的靈敏度高,與被測量無關(guān)的外界噪聲也容易混入,也會被放大系統(tǒng)放大,影響測量精度。因此,要求傳感器本身應(yīng)具有較高的信噪比,盡量減少從外界引入的廠擾信號。
傳感器的靈敏度是有方向性的。當被測量是單向量,而且對其方向性要求較高,則應(yīng)選擇其它方向靈敏度小的傳感器;如果被測量是多維向量,則要求傳感器的交叉靈敏度越小越好。
3、頻率響應(yīng)特性
傳感器的頻率響應(yīng)特性決定了被測量的頻率范圍,必須在允許頻率范圍內(nèi)保持不失真的測量條件,實際上傳感器的響應(yīng)總有—定延遲,希望延遲時間越短越好。
傳感器的頻率響應(yīng)高,可測的信號頻率范圍就寬,而由于受到結(jié)構(gòu)特性的影響,機械系統(tǒng)的慣性較大,因有頻率低的傳感器可測信號的頻率較低。
在動態(tài)測量中,應(yīng)根據(jù)信號的特點(穩(wěn)態(tài)、瞬態(tài)、隨機等)響應(yīng)特性,以免產(chǎn)生過火的誤差。
4、線性范圍
傳感器的線形范圍是指輸出與輸入成正比的范圍。以理論上講,在此范圍內(nèi),靈敏度保持定值。傳感器的線性范圍越寬,則其量程越大,并且能保證一定的測量精度。在選擇傳感器時,當傳感器的種類確定以后首先要看其量程是否滿足要求。
但實際上,任何傳感器都不能保證的線性,其線性度也是相對的。當所要求測量精度比較低時,在一定的范圍內(nèi),可將非線性誤差較小的傳感器近似看作線性的,這會給測量帶來極大的方便。
5、穩(wěn)定性
傳感器使用一段時間后,其性能保持不變化的能力稱為穩(wěn)定性。影響傳感器長期穩(wěn)定性的因素除傳感器本身結(jié)構(gòu)外,主要是傳感器的使用環(huán)境。因此,要使傳感器具有良好的穩(wěn)定性,傳感器必須要有較強的環(huán)境適應(yīng)能力。
在選擇傳感器之前,應(yīng)對其使用環(huán)境進行調(diào)查,并根據(jù)具體的使用環(huán)境選擇合適的傳感器,或采取適當?shù)拇胧?,減小環(huán)境的影響。
傳感器的穩(wěn)定性有定量指標,在超過使用期后,在使用前應(yīng)重新進行標定,以確定傳感器的性能是否發(fā)生變化。
在某些要求傳感器能長期使用而又不能輕易更換或標定的場合,所選用的傳感器穩(wěn)定性要求更嚴格,要能夠經(jīng)受住長時間的考驗。
6、精度
精度是傳感器的一個重要的性能指標,它是關(guān)系到整個測量系統(tǒng)測量精度的一個重要環(huán)節(jié)。傳感器的精度越高,其價格越昂貴,因此,傳感器的精度只要滿足整個測量系統(tǒng)的精度要求就可以,不必選得過高。這樣就可以在滿足同一測量目的的諸多傳感器中選擇比較便宜和簡單的傳感器。
如果測量目的是定性分析的,選用重復精度高的傳感器即可,不宜選用量值精度高的;如果是為了定量分析,必須獲得的測量值,就需選用精度等級能滿足要求的傳感器。
對某些特殊使用場合,無法選到合適的傳感器,則需自行設(shè)計制造傳感器。自制傳感器的性能應(yīng)滿足使用要求。


原理應(yīng)用
種類
力學傳感器的種類繁多,如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。但應(yīng)用的是壓阻式壓力傳感器,它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。
認識
在了解壓阻式力傳感器時,我們首先認識一下電阻應(yīng)變片這種元件。電阻應(yīng)變片是一種將被測件上的應(yīng)變變化轉(zhuǎn)換成為一種電信號的敏感器件。它是壓阻式應(yīng)變傳感器的主要組成部分之一。電阻應(yīng)變片應(yīng)用zui多的是金屬電阻應(yīng)變片和半導體應(yīng)變片兩種。金屬電阻應(yīng)變片又有絲狀應(yīng)變片和金屬箔狀應(yīng)變片兩種。通常是將應(yīng)變片通過特殊的粘和劑緊密的粘合在產(chǎn)生力學應(yīng)變基體上,當基體受力發(fā)生應(yīng)力變化時,電阻應(yīng)變片也一起產(chǎn)生形變,使應(yīng)變片的阻值發(fā)生改變,從而使加在電阻上的電壓發(fā)生變化。這種應(yīng)變片在受力時產(chǎn)生的阻值變化通常較小,一般這種應(yīng)變片都組成應(yīng)變電橋,并通過后續(xù)的儀表放大器進行放大,再傳輸給處理電路(通常是A/D轉(zhuǎn)換和CPU)顯示或執(zhí)行機構(gòu)。

 

作業(yè)方式
選擇壓力傳感器的時候需要注意很多問題,比如,壓力傳感器的量程、精度、壓力傳感器的溫度特性,化學特性都是要考慮的,而壓力傳感器的作業(yè)方式也是需要考慮的重要問題。
例如傳感器用于氣體壓力的測量與液體壓力的測量時情況便不同。氣體是可壓縮流體,增奪時會貯存一定的壓縮能,減壓時又以動能釋放出來,給傳感器彈性膜施加沖擊波。要求壓力傳感器有較大的過載能力。液體是不可壓縮流體,在壓力傳感器安裝時,擰緊螺拴又無可壓縮空間則可使液體壓力升高超過彈性膜的耐壓極限,導致彈性膜破裂。由于這種情況屢屢發(fā)生,也要求壓力傳感器有較大的過壓能力。壓力傳感器的工作環(huán)境惡劣時,例如有大的振動、沖擊,大的電磁干擾,對傳感器提出更為嚴格的要求。不僅過壓能力強,而且要求機械密封可靠,防松動,傳感器安裝正確。傳感器自身的引線、引腳以及外導線都應(yīng)加以電磁屏蔽,并將屏蔽良好接地。此外,應(yīng)考慮壓力傳感器與所測流體介質(zhì)的相容性問題。例如傳感器的彈性膜結(jié)構(gòu)應(yīng)與腐蝕性介質(zhì)相隔開,此時采有不銹鋼波紋套傳感器,傳感器內(nèi)用硅油作傳壓介質(zhì)。傳感器檢測易燃、易爆介質(zhì)壓力時,使用小激勵電流,防止彈性膜破裂時產(chǎn)生火花、火星,并增加壓力傳感器外套的耐壓能力。
只有了解了壓力傳感器的作業(yè)方式才能更好的選擇壓力傳感器,尤其是如今壓力傳感器正在飛速發(fā)展,所以了解壓力傳感器的作業(yè)方式是非常必要的。
關(guān)鍵作用
壓力傳感器不僅在生產(chǎn)測量中應(yīng)用廣泛,如今在我們生活中也常常看見,在我們大多的交通工具中都有壓力傳感器,可能一般人知道汽車上有壓力傳感器,其實普通的摩托車上也有壓力傳感器的應(yīng)用。
摩托車的動力來自汽油機汽缸內(nèi)油的燃燒。只有充分燃燒才能提供很好的動力,良好的燃燒必須具備良好的混合氣、充分的壓縮和*點火三個條件。電噴系統(tǒng)能否正確的將空燃比控制在所需的范圍內(nèi),決定了發(fā)動機的動力性、經(jīng)濟性和排放指標的優(yōu)劣。而汽油機空燃比的控制是采用調(diào)整與進氣量相匹配的供油量實現(xiàn)的,因此,進氣空氣流量的測量精度直接影響空燃比的控制精度。
內(nèi)部結(jié)構(gòu)
它由基體材料、金屬應(yīng)變絲或應(yīng)變箔、絕緣保護片和引出線等部分組成。根據(jù)不同的用途,電阻應(yīng)變片的阻值可以由設(shè)計者設(shè)計,但電阻的取值范圍應(yīng)注意:阻值太小,所需的驅(qū)動電流太大,同時應(yīng)變片的發(fā)熱致使本身的溫度過高,不同的環(huán)境中使用,使應(yīng)變片的阻值變化太大,輸出零點漂移明顯,調(diào)零電路過于復雜。而電阻太大,阻抗太高,抗外界的電磁干擾能力較差。一般均為幾十歐至幾十千歐左右。
工作原理
金屬電阻應(yīng)變片的工作原理是吸附在基體材料上應(yīng)變電阻隨機械形變而產(chǎn)生阻值變化的現(xiàn)象,俗稱為電阻應(yīng)變效應(yīng)。金屬導體的電阻值可用下式表示:
R=ρ
式中:ρ——金屬導體的電阻率(Ω·
/m)
S——導體的截面積(

L——導體的長度(m)
我們以金屬絲應(yīng)變電阻為例,當金屬絲受外力作用時,其長度和截面積都會發(fā)生變化,從上式中可很容易看出,其電阻值即會發(fā)生改變,假如金屬絲受外力作用而伸長時,其長度增加,而截面積減少,電阻值便會增大。當金屬絲受外力作用而壓縮時,長度減小而截面增加,電阻值則會減小。只要測出加在電阻的變化(通常是測量電阻兩端的電壓),即可獲得應(yīng)變金屬絲的應(yīng)變情。
原理應(yīng)用
抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片產(chǎn)生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個惠斯通電橋(閉橋),由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng),使電橋產(chǎn)生一個與壓力成正比的高度線性、與激勵電壓也成正比的電壓信號,標準的信號根據(jù)壓力量程的不同標定為2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等,可以和應(yīng)變式傳感器相兼容。通過激光標定,傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時間穩(wěn)定性,傳感器自帶溫度補償0~70℃,并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸。
陶瓷是一種*的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動的材料。陶瓷的熱穩(wěn)定特性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達-40~135℃,而且具有測量的高精度、高穩(wěn)定性。電氣絕緣程度>2kV,輸出信號強,長期穩(wěn)定性好。高特性,低價格的陶瓷傳感器將是壓力傳感器的發(fā)展方向,在歐美國家有全面替代其它類型傳感器的趨勢,在中國也越來越多的用戶使用陶瓷傳感器替代擴散硅壓力傳感器。


保護
壓力傳感器我們經(jīng)常使用,我們在使用過程中一定要注意保護壓力傳感器,因為壓力傳感器雖然有不銹鋼保護,但是壓力傳感器還是很容易損壞的,尤其的使用不當很容易造成壓力傳感器損壞導致?lián)p失。
首先肯定是傳感器超量程使用,不要施加超過額定耐壓力的壓力。若施加了耐壓力以上的壓力,可能引起破損。其次是使用環(huán)境,避免在有可燃性和爆炸性氣體的環(huán)境下使用。還有就是電源電壓和負載短路,使用時請不要超過使用電壓范圍。若施加了使用電壓范圍以上的電壓,則可能引起破裂或燒毀。避免使負載短路。否則可能引起破裂或燒毀。還有一點比較少見就是誤布線,避免對電源的極性等進行錯誤布線。否則可能引起破裂或燒毀。
壓力傳感器再在使用的時候一定要學會如何保護它,否則它很容易被損壞從而造成生產(chǎn)上的損失,當然只要我們按廠家說明書正確操作,避免上述的幾個問題,壓力傳感器還是可以長時間工作的。有些壓力傳感器能用到幾年甚至十幾年。主要是要學會如何保護它。


分類
壓電式
壓電式壓力傳感器原理基于壓電效應(yīng)。壓電效應(yīng)是某些電介質(zhì)在沿一定方向上受到外力的作用而變形時,其內(nèi)部會產(chǎn)生極化現(xiàn)象,同時在它的兩個相對表面上出現(xiàn)正負相反的電荷。當外力去掉后,它又會恢復到不帶電的狀態(tài),這種現(xiàn)象稱為正壓電效應(yīng)。當作用力的方向改變時,電荷的極性也隨之改變。相反,當在電介質(zhì)的極化方向上施加電場,這些電介質(zhì)也會發(fā)生變形,電場去掉后,電介質(zhì)的變形隨之消失,這種現(xiàn)象稱為逆壓電效應(yīng)。壓電式壓力傳感器的種類和型號繁多,按彈性敏感元件和受力機構(gòu)的形式可分為膜片式和活塞式兩類。膜片式主要由本體、膜片和壓電元件組成。壓電元件支撐于本體上,由膜片將被測壓力傳遞給壓電元件,再由壓電元件輸出與被測壓力成一定關(guān)系的電信號。這種傳感器的特點是體積小、動態(tài)特性好、耐高溫等。現(xiàn)代測量技術(shù)對傳感器的性能出越來越高的要求。
例如用壓力傳感器測量繪制內(nèi)燃機示功圖,在測量中不允許用水冷卻,并要求傳感器能耐高溫和體積小。壓電材料于研制這種壓力傳感器。石英是一種非常好的壓電材料,壓電效應(yīng)就是在它上面發(fā)現(xiàn)。比較有效的辦法是選擇適合高溫條件的石英晶體切割方法,例如XYδ(+20°~+30°)割型的石英晶體可耐350℃的高溫。而LiNbO3單晶的居里點高達1210℃,是制造高溫傳感器的理想壓電材料。


擴散硅式
被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),
使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這一壓力的標準測量信號。
藍寶石式
利用應(yīng)變電阻式工作原理,采用硅-藍寶石作為半導體敏感元件,具有的計量特性。
藍寶石系由單晶體絕緣體元素組成,不會發(fā)生滯后、疲勞和蠕變現(xiàn)象;藍寶石比硅要堅固,硬度更高,不怕形變;藍寶石有著非常好的彈性和絕緣特性(1000 OC以內(nèi)),因此,利用硅-藍寶石制造的半導體敏感元件,對溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著很好的工作特性;藍寶石的抗輻射特性*;另外,硅-藍寶石半導體敏感元件,無p-n漂移,因此,從根本上簡化了制造工藝,提高了重復性,確保了高成品率。
用硅-藍寶石半導體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,可在zui惡劣的工作條件下正常工作,并且可靠性高、精度好、溫度誤差極小、性價比高。
表壓壓力傳感器和變送器由雙膜片構(gòu)成:鈦合金測量膜片和鈦合金接收膜片。印刷有異質(zhì)外延性應(yīng)變靈敏電橋電路的藍寶石薄片,被焊接在鈦合金測量膜片上。被測壓力傳送到接收膜片上(接收膜片與測量膜片之間用拉桿堅固的連接在一起)。在壓力的作用下,鈦合金接收膜片產(chǎn)生形變,該形變被硅-藍寶石敏感元件感知后,其電橋輸出會發(fā)生變化,變化的幅度與被測壓力成正比。
傳感器的電路能夠保證應(yīng)變電橋電路的供電,并將應(yīng)變電橋的失衡信號轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電信號輸出(0-5,4-20mA或0-5V)。在絕壓壓力傳感器和變送器中,藍寶石薄片,與陶瓷基極玻璃焊料連接在一起,起到了彈性元件的作用,將被測壓力轉(zhuǎn)換為應(yīng)變片形變,從而達到壓力測量的目的。

 

壓電傳感器
壓電傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺。其中石英(二氧化硅)是一種天然晶體,壓電效應(yīng)就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的,在一定的溫度范圍之內(nèi),壓電性質(zhì)一直存在,但溫度超過這個范圍之后,壓電性質(zhì)*消失(這個高溫就是所謂的“居里點”)。由于隨著應(yīng)力的變化電場變化微?。ㄒ簿驼f壓電系數(shù)比較低),所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替代。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度和壓電系數(shù),但是它只能在室溫和濕度比較低的環(huán)境下才能夠應(yīng)用。磷酸二氫胺屬于人造晶體,能夠承受高溫和相當高的濕度,所以已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。
壓電效應(yīng)也應(yīng)用在多晶體上,比如壓電陶瓷,包括鈦酸鋇壓電陶瓷、PZT、鈮酸鹽系壓電陶瓷、鈮鎂酸鉛壓電陶瓷等等。
壓電效應(yīng)是壓電傳感器的主要工作原理,壓電傳感器不能用于靜態(tài)測量,因為經(jīng)過外力作用后的電荷,只有在回路具有無限大的輸入阻抗時才得到保存。實際的情況不是這樣的,所以這決定了壓電傳感器只能夠測量動態(tài)的應(yīng)力。

壓力傳感器主要應(yīng)用在加速度、壓力和力等的測量中。壓電式加速度傳感器是一種常用的加速度計。它具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、重量輕、使用壽命長等優(yōu)異的特點。壓電式加速度傳感器在飛機、汽車、船舶、橋梁和建筑的振動和沖擊測量中已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用,特別是航空和宇航領(lǐng)域中更有它的特殊地位。壓電式傳感器也可以用來測量發(fā)動機內(nèi)部燃燒壓力的測量與真空度的測量。也可以用于軍事工業(yè),例如用它來測量槍炮子彈在膛中擊發(fā)的一瞬間的膛壓的變化和炮口的沖擊波壓力。它既可以用來測量大的壓力,也可以用來測量微小的壓力。
壓電式傳感器也廣泛應(yīng)用在生物醫(yī)學測量中,比如說心室導管式微音器就是由壓電傳感器制成的,因為測量動態(tài)壓力是如此普遍,所以壓電傳感器的應(yīng)用就非常廣泛。

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